JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵:真空技术 溅射离子泵(JB/T 4081-2011),该标准的归口单位为全国真空技术标准化技术委员会,英文名为Vacuum technology. Sputter-ion pumps。
真空技术 溅射离子泵(JB/T 4081-2011)是在2011-12-20发布,在2012-04-01开始实施。
本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
本标准文件共有14页。