砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法（SJ 20713-1998），该标准的归口单位为中国电子技术标准化研究所，英文名为Method for the determination of 12 species of impurities including copper, manganese, magnesium, vanadium, titanium in high-purity gallium used for gallium arsenide by ICP spectrometry。
砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法（SJ 20713-1998）是在1998-03-18发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种金属杂质的等离子体光谱测定方法。本标准适用于高纯镓中12种金属如质的同时测定,测定范围见表1。
本标准文件共有6页。
SJ 20713-1998 砷化镓用高纯镓中铜、锰、镁、钒、钛等12种杂质的等离子体光谱分析法.pdf
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