JB/T 5633-1991 单晶炉能耗分等

kenmizuki · 发表于 2021-4-13 00:33

本标准为JB/T 5633-1991，标准的中文名称为单晶炉能耗分等，本标准在1991-09-13发布，在1992-07-01开始实施。
本标准作废日期为2017-05-12。本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。
本标准文件共有3页。

旺复方 · 发表于 2022-4-21 09:33

好资源，正好需要

cc586 · 发表于 2022-4-25 06:30

看看先

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JB/T 5633-1991 单晶炉 能耗分等