GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

地区 · 发表于 2021-4-11 12:05

硅多晶气氛区熔基磷检验方法（GB/T 4059-2007），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会，英文名为Polycrystalline silicon. Examination method. Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere。
在2008-02-01开始实施。
它在2019-11-01作废。被标准GB/T 4059-2018替代。
该标准采用了标准ASTM F1723-1996,MOD。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。
本标准文件共有7页。

GB_T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf (225.12 KB)

l1095523295 · 发表于 2022-7-30 11:08

支持一下

idadaskjdk · 发表于 2022-8-18 06:06

感谢分享~

		自动登录	找回密码
密码			QQ一键登录

GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

相关帖子