俄歇电子能谱术深度剖析标准导则(SJ/T 10457-1993),该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所,英文名为Standard guide for depth profiling in auger electron spectroscopy。
俄歇电子能谱术深度剖析标准导则(SJ/T 10457-1993)是在1993-12-17发布,在1994-06-01开始实施。
该标准采用了标准ASTM E1127-1986,MOD。
本标准导则适用于采用磨角与截面法、球坑法、离子溅射法、非破坏性深度剖析法进行俄歇电子能谱术深度剖析。本标准导则可能涉及有害的物品、操作及设备。但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前,应该制定适当的安全与保健措施,并确定本导则的应用范围。
本标准文件共有5页。
SJ_T 10457-1993 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则.pdf
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