本标准为JJF 1760-2019,标准的中文名称为硅单晶电阻率标准样片校准规范,标准的英文名称为Calibration Specification for Standard Slices of Single Crystal Silicon Resistivity,本标准在2019-09-27发布,在2020-03-27开始实施。
本规范适用于电阻率在0. 003 Ω•cm~1000Ω •cm之间的硅单晶电阻率标准样片的校准。
本标准文件共有25页。 JJF 1760-2019 硅单晶电阻率标准样片校准规范.pdf(1.45 MB)