SJ 21115-2016 单片旋转显影/清洗机通用规范

dasdasd · 发表于 2021-12-9 20:38

本标准为SJ 21115-2016，标准的中文名称为单片旋转显影/清洗机通用规范，标准的英文名称为General specification for single wafer spinning developing&rinsing machine，本标准在2016-01-19发布，在2016-03-01开始实施。
本规范规定了单片旋转显影/清洗机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于单片旋转显影/清洗机的设计、生产、检验、验收和订购。
本标准文件共有20页。

SJ 21115-2016 单片旋转显影_清洗机通用规范.pdf (12.76 MB)

2477386211 · 发表于 2022-1-20 19:28

感谢分享~

一般般 · 发表于 2022-1-26 09:59

看看先

724304950 · 发表于 2025-1-4 02:31

需要这个文件

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