本标准为HG/T 5895-2022，标准的中文名称为工业用混合气体 硅烷/氮气，标准的英文名称为Mixed gas used for industry—Silane in nitrogen，本标准在2022-09-30发布，在2023-04-01开始实施。
本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
本标准文件共有13页。 HG_T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷_氮气.pdf(784.9 KB)
