GB/T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）

kevinwyt · 发表于 2025-4-7 06:44

本标准为GB/T 43894.1-2024，标准的中文名称为半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD），标准的英文名称为Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD），本标准在2024-04-25发布，在2024-11-01开始实施。
本标准文件共有11页。

GB_T 43894.1-2024 半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）.pdf (512.13 KB)

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