本标准为GB/T 42896-2023，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法，标准的英文名称为Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS，本标准在2023-08-06发布，在2023-12-01开始实施。
本标准文件共有11页。 GB_T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf(1.46 MB)
