DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法

呵呵呵草泥马 · 发表于 2025-4-12 22:03

《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法》（DB35/T 1248-2012），适用地区为福建省，所属行业为制造业，该标准的归口单位为福建省化学工业气体标准化技术委员会，《电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法》（DB35/T 1248-2012）是在2012-05-04发布，在2012-08-05开始实施。
本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。各杂质组分的检测限：氢：0.02 μmol/mol、氧（氩）：0.01 μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：0.005 μmol/mol、一氧化碳：0.02 μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。
本标准文件共有12页。

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