YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片

超乎想向爱你 · 发表于 2021-4-9 09:34

硅单晶腐蚀片（YS/T 1167-2016），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Monocrystalline silicon etched wafers。
硅单晶腐蚀片（YS/T 1167-2016）是在2016-07-11发布，在2017-01-01开始实施。
本标准规定了硅单晶腐蚀片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括区熔中子嬗变和气相掺杂)制备的硅单晶研磨片经化学腐蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片(以下简称腐蚀片)。产品主要用于制作晶体管、整流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工成硅抛光片。
本标准文件共有11页。

YS_T 1167-2016 硅单晶腐蚀片.pdf (1.55 MB)

古枫 · 发表于 2022-1-6 00:51

强强强强

2429737658@qq.c · 发表于 2022-5-3 17:14

看一下

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