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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

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445462403 发表于 2021-4-12 23:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
磁性溅射靶材透磁率测试方法(YS/T 1124-2016),该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会,英文名为Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target。
磁性溅射靶材透磁率测试方法(YS/T 1124-2016)是在2016-07-11发布,在2017-01-01开始实施。
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
本标准文件共有6页。
YS_T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法.pdf (367.52 KB)
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1502200122 发表于 2021-12-17 23:42 | 显示全部楼层
谢谢分享!!!!
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kongjye 发表于 2022-1-14 01:19 | 显示全部楼层
好东西!!!
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初夏浅忆 发表于 2024-11-26 18:07 | 显示全部楼层
看看这个规范
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