本标准为SJ/T 11494-2015，标准的中文名称为硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法，标准的英文名称为Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities，本标准在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错密度(＜500个/cm^2)硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定,同时也适用于检测硅单晶中含量1×10^11at.cm^-3～5×10^15at.cm^-3的各种电活性杂质。
本标准文件共有12页。 SJ_T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法.pdf(2.11 MB)
