本标准为YS/T 987-2014，标准的中文名称为氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定，标准的英文名称为Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane. Determination of methyldichlorosilane，本标准在2014-10-14发布，在2015-04-01开始实施。
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。
本标准文件共有9页。
YS_T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定.pdf
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