工业高纯氢氟酸（HG/T 4509-2013），该标准的归口单位为全国化学标准化技术委员会无机化工分会，英文名为High purity hydrofluoric acid for industrial
use。
工业高纯氢氟酸（HG/T 4509-2013）是在2013-10-17发布，在2014-03-01开始实施。
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签、包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
本标准文件共有12页。
HG_T 4509-2013 工业高纯氢氟酸.pdf
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