SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范

分步投影曝光机通用规范（SJ 20711-1998），该标准的归口单位为中国电子技术标准化研究所，英文名为General specification for step and repeat exposure systems。
分步投影曝光机通用规范（SJ 20711-1998）是在1998-03-18发布，在1998-05-01开始实施。
本标准规定了分步投影曝光机(以下简称曝光机)的分类、要求、质最保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。
本标准文件共有10页。
SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范.pdf (1.71 MB)

2021-4-10 17:49 上传

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