SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

qin0359 · 发表于 2021-12-5 16:40

本标准为SJ/T 10274-1991，标准的中文名称为掩模对准曝光机测试方法，标准的英文名称为Test methods of mask alignment and exposure system，本标准在1991-11-12发布，在1992-01-01开始实施。
本标准规定了测试掩模对准曝光机(以下简称"曝光机")的一般要求和方法。本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
本标准文件共有10页。

SJ_T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法.pdf (1.64 MB)

MZiN · 发表于 2021-12-18 14:26

不错不错

晓林 · 发表于 2022-1-3 18:01

这个好啊，谢谢了。

2731759025 · 发表于 2024-10-19 10:23

需要这个文件

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SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

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