GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼:本标准为GB/T 14603-2009，标准的中文名称为电子工业用气体 三氟化硼，标准的英文名称为Gases for electronic industry. Boron trifluoride，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
本标准文件共有12页。
GB_T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼.pdf