GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼

呵呵呵呵啊啊 · 发表于 2021-4-11 06:09

本标准为GB/T 14603-2009，标准的中文名称为电子工业用气体三氟化硼，标准的英文名称为Gases for electronic industry. Boron trifluoride，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
本标准文件共有12页。

GB_T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼.pdf (486.03 KB)

FPS7 · 发表于 2022-3-24 10:30

谢谢分享！！！！

2602768852 · 发表于 2022-4-18 10:57

看看。。。

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GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

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