YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法:本标准为YS/T 23-1992，标准的中文名称为硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法，本标准在1992-03-09发布，在1993-01-01开始实施。
本标准作废日期为2016-09-01。被标准YS/T 23-2016替代。
本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。本标准适用于在<111>,<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的硅外延层厚度的测量。
本标准文件共有5页。
YS_T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法.pdf