YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

1658169489849 · 发表于 2021-4-12 19:19

本标准为YS/T 23-1992，标准的中文名称为硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法，本标准在1992-03-09发布，在1993-01-01开始实施。
本标准作废日期为2016-09-01。被标准YS/T 23-2016替代。
本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。本标准适用于在&lt;111&gt;,&lt;100&gt;和&lt;110&gt;晶向的硅单晶衬底上生长的硅外延层厚度的测量。
本标准文件共有5页。

YS_T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法.pdf (196.16 KB)

51561 · 发表于 2022-1-28 12:56

看看。。。

807688739 · 发表于 2022-8-9 14:10

支持下啊

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YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

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