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标准规范网 下载中心 行业标准 【SJ】电子行业标准 SJ_T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法.pdf

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SJ_T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法.pdf

 

SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法:
本标准为SJ/T 10274-1991,标准的中文名称为掩模对准曝光机测试方法,标准的英文名称为Test methods of mask alignment and exposure system,本标准在1991-11-12发布,在1992-01-01开始实施。
本标准规定了测试掩模对准曝光机(以下简称"曝光机")的一般要求和方法。本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
本标准文件共有10页。

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GMT+8, 2024-12-25 14:57

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