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YS_T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法.pdf

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YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法:

氯硅烷组分含量的测定气相色谱法（YS/T 1392-2020），氯硅烷组分含量的测定气相色谱法（YS/T 1392-2020）是在2020-12-09发布，在2021-04-01开始实施。
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
本标准文件共有9页。

标准封面截图：
YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

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