YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

巫士 · 发表于 2023-3-7 01:32

氯硅烷组分含量的测定气相色谱法（YS/T 1392-2020），氯硅烷组分含量的测定气相色谱法（YS/T 1392-2020）是在2020-12-09发布，在2021-04-01开始实施。
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
本标准文件共有9页。

YS_T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法.pdf (518.27 KB)

念旧瘦子 · 发表于 2023-6-14 00:14

很给力~

322zkkw · 发表于 2023-7-5 23:42

这个不错

		自动登录	找回密码
密码			QQ一键登录

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

相关帖子

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法