《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》(GB/T 43748-2024),该标准的归口单位为国家标准委,英文名为Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips。
《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》(GB/T 43748-2024)是在2024-03-15发布,在2024-10-01开始实施。
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