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GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

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1350159649 发表于 2025-4-8 10:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
《微束分析  透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》(GB/T 43748-2024),该标准的归口单位为国家标准委,英文名为Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips。
《微束分析  透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》(GB/T 43748-2024)是在2024-03-15发布,在2024-10-01开始实施。
本标准文件共有15页。
GB_T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法.pdf (2.83 MB)
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