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GB_T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法.pdf

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GB/T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法:

本标准为GB/T 42106-2022，标准的中文名称为纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法，标准的英文名称为Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation，本标准在2022-12-30发布，在2023-07-01开始实施。
本标准文件共有10页。

标准封面截图：
GB/T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法

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