本标准为GB/T 42106-2022，标准的中文名称为纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法，标准的英文名称为Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation，本标准在2022-12-30发布，在2023-07-01开始实施。
本标准文件共有10页。 GB_T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法.pdf(2.35 MB)
