YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法:外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-2016），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Test methods for spike of epitaxial layers。
外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-2016）是在2016-04-05发布，在2016-09-01开始实施。
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准文件共有6页。
YS_T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法.pdf