YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

a1553422295 · 发表于 2021-4-10 17:39

外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-2016），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Test methods for spike of epitaxial layers。
外延钉缺陷的检验方法（YS/T 24-2016）是在2016-04-05发布，在2016-09-01开始实施。
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准文件共有6页。

YS_T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法.pdf (280.97 KB)

lzw764 · 发表于 2022-2-17 06:44

看一下

binghelang · 发表于 2022-3-6 02:50

支持下啊

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