YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉:制备钌靶用钌粉（YS/T 1068-2015），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员，英文名为Ruthenium powder for ruthenium sputtering tafget。
制备钌靶用钌粉（YS/T 1068-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
本标准文件共有7页。
YS_T 1068-2015 制备钌靶用钌粉.pdf