YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

menggudao · 发表于 2021-4-10 13:56

制备钌靶用钌粉（YS/T 1068-2015），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员，英文名为Ruthenium powder for ruthenium sputtering tafget。
制备钌靶用钌粉（YS/T 1068-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
本标准文件共有7页。

YS_T 1068-2015 制备钌靶用钌粉.pdf (285.42 KB)

8.13 · 发表于 2022-7-15 09:56

感谢分享

a1130453525b · 发表于 2022-7-15 10:12

这个好啊，谢谢了。

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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

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