YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法:异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法（YS/T 14-2015），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers。
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法（YS/T 14-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小子100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm～100μm。
本标准文件共有7页。
YS_T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf