YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

58794587498 · 发表于 2021-4-12 00:23

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法（YS/T 14-2015），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers。
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法（YS/T 14-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小子100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm～100μm。
本标准文件共有7页。

YS_T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf (336.14 KB)

coffee · 发表于 2022-3-17 05:01

感谢分享~

quantum · 发表于 2022-4-1 11:18

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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

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