本标准为YS/T 679-2008,标准的中文名称为非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法,标准的英文名称为Test methods for minority carrier diffusion length in extrinsic semiconductors by measurement of steady-state surface photovoltage,本标准在2008-03-12发布,在2008-09-01开始实施。
本标准作废日期为2019-04-01。被标准YS/T 679-2018替代。
该标准采用了标准SEMI MF391-1106,MOD。
本标准适用于非本征单晶半导体材料样品或相同导电类型重掺衬底上沉积己知电阻率的同质外延层中的少数载流子扩散长度的测量。要求样品或外延层厚度大于4倍的扩散长度。
本标准文件共有15页。
YS_T 679-2008 非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法.pdf
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